ZYY-BJFC-A系列暗黑钣金防尘罩

ZYY-BJFC-A系列暗黑钣金防尘罩

甄耀言科技ZYY-BJFC-A 系列暗黑钣金防尘罩，是针对半导体探针台精密测试系统专项研发的全封闭避光防尘一体化防护箱体。在半导体芯片、光电器件的探针测试过程中，环境杂散光、空气对流、粉尘颗粒都会严重干扰微弱光电信号采集，造成基线漂移、测试数据重复性差、探针针尖污染、晶圆表面沾灰等问题。本系列钣金罩采用全密闭哑光暗黑钣金腔体，可彻底隔绝外部杂光，抑制腔体内空气对流，阻挡粉尘进入测试区域，为探针台构建稳定、低噪、洁净的封闭测试空间。 产品可兼容手动探针台、半自动探针台、光电综合测试探针台，广泛用于晶圆光电表征、PL 光致发光测试、IV/CV 电学测试、MEMS 器件、微光探测器芯片等高精度测试场景，是微电子实验室、光电芯片研发产线、高校半导体科研平台探针系统的核心配套防护设备。 结构特点 加厚哑光暗黑钣金腔体 主体选用加厚冷轧钢板一体折弯成型，表面采用哑光黑色静电喷塑工艺，腔体内部低反光，杜绝环境光线在腔体内漫反射，最大程度消除杂光对微弱光信号采集的干扰。钣金整体刚性高，抗形变、抗外部轻微振动，不会因壳体形变影响探针台定位精度。正面采用双开门结构，配备专用门锁，开合顺畅，锁紧后保证腔体密闭性；宽大开门空间，方便晶圆片更换、探针卡调试、探针针尖校准、CCD 相机对焦维护。箱体正面可印刷甄耀言科技品牌 LOGO，外观规整大气，适配实验室标准化展示。 重型一体化移动调平支撑机架 箱体下方配套独立重型黑色钢结构支撑机架，机架采用加厚方管焊接成型，承载能力强，长期使用不易变形。机架集成万向重载脚轮 + 金属调平支撑脚垫双重结构：脚轮可实现整套探针台 + 防尘罩整体移位，方便实验室设备布局调整；设备移动到位后，旋出金属调平脚垫落地支撑，抬升脚轮脱离地面，完成整机锁止与水平校准，有效隔离地面传递的低频微振动，避免震动引起探针针尖与晶圆虚接触、跳针等不良现象。机架采用模块化螺栓装配，可根据探针台高度需求调整机架尺寸。 密闭腔体与标准化拓展接口预留 双开门闭合后可加装密封胶条，提升腔体密闭性能，有效阻隔外界粉尘进入腔体，保护昂贵探针卡、针尖、晶圆样品，降低器件污染报废风险；同时抑制腔体内空气对流，减少气流扰动造成的光斑漂移、探针位置偏移，大幅提升测试稳定性。 支持按需定制各类开孔：同轴信号线缆走线孔、光纤法兰接口、CCD 相机观察窗口、气源接口、散热通风口、屏蔽接地端子等。所有开孔位置、大小、数量完全根据客户探针台、测试仪器布局定制，兼顾布线便捷性与腔体遮光防尘性能，避免开孔带来的漏光、进灰问题。 全场景非标定制能力 可根据探针台的外形尺寸、工作台行程、光学观测路径，定制腔体长宽高；可选择门体开启方式（双开门 / 单开门）；可选配内嵌式观察窗、内部照明灯、腔体内部走线线槽、底部减震垫、电磁屏蔽层等升级配置。可对接不同品牌、不同规格探针台，从小型手动探针台到大尺寸半自动探针台均可适配。 核心优势 ✅ 极致遮光性能：哑光暗黑钣金全封闭腔体，消除外部杂光以及腔体内部反光，完美适配 PL、微光探测等弱光测试，提升测试信噪比。 ✅ 高效防尘稳流：密封式腔体阻挡粉尘污染探针针尖与晶圆样品，降低空气对流扰动，减少跳针、基线漂移，提升测试重复性，降低探针耗材损耗。 ✅ 高刚性抗振机架：重型钢结构支架，脚轮移动 + 调平脚锁止二合一，兼顾设备搬运与高精度定位，削弱地面微振动对探针接触的影响。 ✅ 稳定耐用易维护：加厚钣金壳体，抗磕碰、不易变形，哑光喷塑层耐磨损、不易掉漆；开门空间充足，方便日常探针校准与样品更换。 ✅ 高度定制适配：尺寸、门体、开孔、配件按需定制，无缝匹配客户现有探针台及整套测试系统。 ✅ 一体化成套交付：钣金罩 + 支撑机架成套出货，减少客户二次加工、组装工作量，开箱即可安装使用。 适用场景 半导体晶圆光电特性测试、光致发光 PL 测试、电致发光 EL 测试、光电探测器芯片探针表征、MEMS 微纳器件测试、二极管 / 三极管 IV/CV 电学测试、微光传感器芯片测试； 适用单位：半导体研发实验室、光电芯片企业检测中心、高校微电子与光电学院、科研院所微纳加工平台，适配手动探针台、半自动探针台配套使用。 技术参数 腔体材质：加厚冷轧钢板，哑光黑色静电喷塑 门体结构：正面双开门，带机械门锁，可选配密封胶条 支撑机架：加厚方管钢结构，重载万向脚轮 + 金属调平脚垫 腔体功能：遮光、防尘、抑制内部气流扰动 可选配件：光学观察窗、线缆屏蔽走线孔、光纤法兰、接地端子、内部减震垫、腔体照明、电磁屏蔽内层 定制范围：腔体长宽高、开孔位置、门体形式、内部附件均可非标定制 选配升级方案 电磁屏蔽升级：腔体内部增加导电屏蔽层，抑制外部电磁干扰，适合微弱电流探针测试； 观察窗选配：黑色亚克力观察窗，可观测内部测试状态，同时保持遮光； 内部减震：机架底部加装被动减震垫，进一步隔离地面振动； 腔体照明：内置低反光 LED 照明，方便腔体内部检修调试，测试时可关闭光源。